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布魯克Contour Elite X 工業(yè)光學(xué)顯微鏡大樣本的Contour Elite X 3D光學(xué)輪廓儀將的測量功能與業(yè)界大視野和高保真彩色或單色成像上的垂直分辨率結(jié)合在一起。沒有其他度量衡系統(tǒng)可以提供非接觸式精度，吞吐量，操作員便利性和成像功能來解決如此廣泛的生產(chǎn)度量衡應(yīng)用。

布魯克Contour Elite K 3D光學(xué)顯微鏡布魯克的Contour Elite K 3D光學(xué)顯微鏡為表面計量性能的設(shè)計和成本效率設(shè)定了新的行業(yè)標準。Contour Elite K具有出色的粗糙度和2D / 3D測量功能，高保真成像，以及業(yè)界的用戶友好界面，可在緊湊的系統(tǒng)中提供毫不妥協(xié)的計量和高保真成像。

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡在*技術(shù)節(jié)點上，利用多圖案光刻技術(shù)對CMP提出了納米工藝控制要求，以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞新一代的AFM掃描儀構(gòu)建，可在65μmX / Y掃描范圍內(nèi)提供小于10納米的改進平面度。

布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡具有AutoMET™計量軟件的布魯克Dimension Edge™PSS原子力顯微鏡是LED基板和外延制造商的理想納米計量和納米檢查系統(tǒng)。作為Dimension Edge AFM平臺的擴展，Edge PSS融合了Dimension AFM系統(tǒng)所享有的令人難以置信的價值和分辨率，同時還提供了產(chǎn)品

布魯克Dimension HPI原子力顯微鏡（AFM）系列在為工業(yè)計量應(yīng)用提供的可用速度和性能方面享有悠久的聲譽。Dimension HPI和PRO系統(tǒng)是專為大批量生產(chǎn)環(huán)境而設(shè)計的，能夠自動測量多種A??FM模式，同時確保大程度的易用性和低的每次測量成本，以進行質(zhì)量控制，質(zhì)量保證和故障分析。

布魯克Dimension FastScan原子力顯微鏡分辨率成像—無論何時，不論哪次 高帶寬，從而快速掃描，觀察實時變化 潛力無限—極其靈活的開放式架構(gòu) 獲得較全面的納米尺度的定量特性參數(shù) 超乎想象的簡單

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